苏州三清仪器的氮气 / 充氮烘箱,多围绕工业生产中对低氧、洁净等不同场景的需求设计,核心可分为充氮洁净烘箱、无氧烤箱两大类别,部分还包含定制化机型,不同类别在结构、性能、适用场景等方面差异显著,以下是详细介绍:
充氮洁净烘箱
这类烘箱兼顾低氧环境与无尘需求,通过氮气置换空气防氧化,同时搭配高效过滤系统保障箱内洁净度,是其与普通充氮烘箱的核心区别。三清仪器的该类产品以 SKCOL 系列百级洁净烘箱为代表。
核心特点:采用 SUS304 洁净不锈钢板满焊结构并做耐高温密封处理,自身不产尘;配置耐高温 H13 级高效过滤器,可实现百级洁净度;控温精度高,温度波动度 ±0.5℃,200℃时温度均匀性误差仅 ±3℃,还搭载 PID 控温系统与多种安全保护装置,如超温报警、过流保护等。以 SKCOL - 2 至 SKCOL - 5 型号为例,容积从 180L 到 980L 不等,能适配不同批量作业需求。
适用场景:主打半导体、精密电子领域,比如晶圆封装中 PI 胶、BCB 胶的固化,高精密电子元件的无尘烘干,也可用于大规模集成电路、生物制造等对洁净度和防氧化均有要求的工艺。
无氧烤箱
相比普通充氮烘箱,其对氧含量控制更严苛,通常结合排气与充氮技术,能创造趋近无氧的环境,部分机型支持高温作业,三清仪器的该类产品有高温 400℃无氧烤箱、晶圆烘箱(MES 无氧烤箱定制款)等。
核心特点:可定制 10PPM、20PPM 等不同低氧浓度规格,满足高端工艺对氧含量的严格要求;采用 PLC 控制系统,自动化程度高,运行稳定;外壳经防锈处理,内胆为优质不锈钢,搭配高密度保温材料,升温速率可达 5℃/min(空载),部分机型最高工作温度能达 400 - 500℃。例如 SKCOL - 9070A*4 型号,单仓容积 70L,总功率 2.0KW,兼顾小型精密件的批量无氧处理。
适用场景:聚焦高端电子制造与特殊材料加工,像 IC 晶圆、CMOS、指纹识别元件的高温无氧干燥,晶体管、传感器的封装测试,以及电子陶瓷材料的烧结等对氧含量极度敏感的工艺。
定制化机型
三清仪器还提供如 MES 无氧烤箱等定制款氮气相关烘箱,这类机型是基于基础款的差异化调整,与标准化机型的核心区别在于适配特定场景的专属设计。
核心特点:可根据客户需求定制内胆尺寸、温度范围、氧含量控制精度等参数。比如针对晶圆制造的定制款,会强化与 MES 系统的联动,方便生产流程的智能化管控;针对特殊材料,可调整氮气进气流量、排风方式等,适配个性化工艺需求。
适用场景:主要服务于有特殊工艺要求的领域,例如 FPD(平板显示)行业的特殊元件处理、科研机构的新型材料无氧老化试验,或是大型企业专属生产线的配套烘干作业。
此外,三清仪器的氮气 / 充氮烘箱与自身其他类型烘箱(如普通鼓风干燥箱)对比,核心区别在于均配备专属充氮接口、密封结构和气体置换系统,而普通烘箱无防氧化相关设计;与同类型其他品牌产品相比,三清的机型更侧重半导体、精密电子等高端领域的适配性,洁净度控制和低氧浓度定制化能力更具针对性。
