<百级洁净烘箱>Class100无尘洁净烘箱 晶圆无尘箱

晶圆制造的过程工业非常复杂，需要在一个无尘的环境中，因为微小的颗粒物就能引起电子组件与电路的缺陷，所以在晶圆生产制造和封装的时候需要时候Class100无尘洁净烘箱，又称晶圆无尘箱来辅助工作，保证晶圆的品质。三清仪器百级洁净烘箱经过高效耐高温过滤器反复的进行空气过滤，可以达到Class100的洁净环境。

晶圆无尘箱设备包括金属板箱、加热系统、热风循环系统、温控系统、过滤系统、充氮系统和安全保护系统。采用先进的钣金焊接加工技术，结合工业级智能精密温控技术，环保节能设计，进口耐高温过滤器，设备密封性好，机械强度高，清洁度高，操作方便，稳定性高安全，标准化的一体化结构箱体，符合国际审美观，操作简单，控制系统和系统自动化程度高，运行稳定，无故障运行时间长，产品达到国内先进水平。外箱采用1.2mm厚3A冷轧钢板静电双面喷塑而成。内衬材料为1.2mm~1.5mm厚SUS304×镜面清洁不锈钢板。保温材料为100厚120K高密度硅酸铝纤维保温材料。采用进口温控器，控温精度0.3级，温度分辨率±0.1℃，PID智能计算，自动恒温，超温抑制，传感器断线报警，断电记忆，控温精确，操作简单，可选程序温控功能或液晶屏显示。采用高温高效过滤器，过滤等级H13（99.95%-99.99%@0.3um）。采用进口耐高温超细纤维芯材，连续耐温300℃，不锈钢框架，铝箔夹层，进口高温陶瓷胶封。门框采用玻璃纤维耐高温密封条。设备开机后，启动热风循环系统，热风循环通过高效过滤器h.e.p.a实现箱内自净。