三清仪器高精度无尘洁净烤箱:半导体微电子行业的核心工艺装备

公司与产品概览

苏州三清仪器有限公司 (SOODKING) 专注于环境试验与测试设备研发,其无尘洁净烤箱系列产品专为半导体、显示面板等高端电子行业打造,提供百级无尘、高精度控温、无氧保护的理想工艺环境。

核心产品系列:

SK 系列:标准百级洁净烘箱,单舱设计,适合单一工艺需求

MOL-2DS:双仓独立控温百级无尘洁净固化干燥箱,半导体行业旗舰产品

MOL-2DS 产品技术亮点

双仓独立控制系统

两个舱室可独立设置温度、时间和气氛参数,同时处理两种不同工艺,提高设备利用率

单仓内部分三层设计,每层承重 30kg,充分利用空间

操作界面集中于右侧控制箱,便于监控与参数调整 

百级无尘洁净环境

采用耐高温 H.E.P.A 过滤器(过滤效率 99.997%),确保 Class 100 洁净度 (ISO 5 级) 

空气封闭自循环系统,经多次过滤使 0.5μm 尘粒≤3.5 颗 / 升 

全周氩焊密封 + 耐高温硅胶迫紧,防止外部污染侵入 

内胆采用SUS304# 镜面不锈钢,减少微粒产生,易清洁 

高精度温度控制

控温范围:常温~300℃,升温速率 1~7℃/min (空炉) 

温度均匀度:±2% 或 ±3℃(根据工况),确保产品一致性 

温度波动度:±0.5℃,满足半导体工艺严苛要求 

六点式温度检测系统实时监控,PID 智能算法自动调节

升温迅速:30 分钟内可达 250℃(空炉),提高生产效率 

灵活气氛控制系统

可选配氮气 / 惰性气体入口,精确控制氧含量低至 ≤20ppm(无氧型) 

配备高精度 N₂流量计 (5~50L/min×2),精确控制进气量 

智能排气控制:根据工艺阶段自动调节排气频率,节约氮气消耗

微氧含量测试仪实时监控,确保工艺稳定性 

全方位安全保障

独立超温保护装置,温度异常时立即切断加热 

电磁式门扣附断电防开装置,确保操作安全 

开门安全联锁:箱门开启时加热系统自动停止 

设备外表面温度控制:设定 250℃时,门板外侧温度≤室温 + 15℃,防烫伤

总结

三清仪器 MOL-2DS 双仓百级无尘洁净固化干燥箱凭借双仓独立控制、百级无尘环境、高精度温控和灵活气氛管理四大核心优势,成为半导体微电子行业先进工艺的理想选择。无论是晶圆制造、先进封装还是新型半导体材料加工,这款设备都能提供稳定可靠的工艺环境,助力客户提升产品良率和性能。