三清仪器百级无尘洁净烘箱是半导体封装等精密电子制造领域常用的设备,具有高洁净度、精准控温等特点,以下是其详细介绍:

产品特点

高洁净度:采用独特的内外舱一体结构和内循环风道设计,配备耐高温超高效过滤器 H.E.P.A,过滤等级 H13,可实现 99.95%-99.99%@0.3um 的过滤效率,能有效过滤空气中的微粒,确保烘箱内部达到百级洁净度。

控温精准:使用进口温度控制器,控温精度 0.3 级,温度分辨率 ±0.1℃,采用 PID 智能演算技术,具有自动恒温、超温抑制、传感器断线警报等功能,温度波动度可达 ±0.5℃。

温场均匀:通过合理的风道设计和热风循环系统,使烘箱内温度均匀性良好,如 SK 系列在 200℃时温度均匀性为 ±3℃,300℃时为 ±4℃。

结构合理:外箱体采用 1.2mm 厚度 3A 冷轧钢板静电双面喷塑,内胆采用 1.2mm-1.5mm 厚 SUS304# 镜面洁净不锈钢板,防锈耐腐蚀,且易于清洁。绝热保温材料使用 100mm 厚 120K 高密度硅酸铝纤维保温材料,保温效果好。

主要技术参数

型号及容积:有 SKCOL-2、SKCOL-3、SKCOL-4、SKCOL-5 等型号,内容积分别为 180L、270L、480L、980L。

温度范围:一般型号的温度范围为 + 60℃-+300℃,可满足多种半导体封装工艺的温度需求。

电源与功率:电源为 380V 50HZ,功率根据型号不同在 7.5KW-17KW 之间。

安全保护:具备输入断线检测、上限温度过热报警、蜂鸣器报警、电机温度保护开关、温度保险丝、独立防止温度过升装置等多种安全保护功能。

应用领域

广泛应用于精密电子制造,半导体晶圆制造,大规模集成电路,生物制造、洁净实验室、航天航空等众多工业领域,尤其适用于半导体晶圆封装中 PI/BCB 胶固化等需要无尘无氧环境的工艺。

外观及配件

烘箱外观采用符合国际审美观的标准化整体式结构箱体,简洁大方。标配隔板,如 SK 系列标配 2 块隔板,隔板承载为 30KG,还可根据需求选购程序温控仪、触摸屏、三色报警灯、计时器等配件。

型号
SKCOL-2
SKCOL-3
SKCOL-4
SKCOL-5
洁净度
Class 100 百级无尘洁净烘箱
电源
380V 50HZ
功率
7.5 KW
10.5 KW
11 KW
17 KW
工作环境温度
5℃ - 35℃

温度范围
+60℃ - +300℃
温度波动度
±0.5℃
温度均匀性
200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
升温时间
40分钟以内 (室温-300℃)

外壳
防锈处理冷轧钢板 内外表面静电喷塑处理
内胆
SUS304 优质不锈钢
隔热材料
玻璃棉
加热器
覆套式电热器
进气口
6 MM
出气口
5 MM 自动开启排风阀门

温度控

制系统

调节方式
PID 控制方式
运转方式
定值运转 程序运转
设定范围
0 ℃ - 300 ℃
设定方式
数字式
显示方式
LED数字显示 触摸屏显示
传感元件
K型热电偶
安全保护
输入断线检测功能 上限温度过热报警 蜂鸣器报警 自行诊断
定时功能
0.1 - 999.9 H
安全装置
电机温度保护开关 温度保险丝 独立防止温度过升装置
隔板承载
30 KG
内容积
180 L
270 L
480 L
980 L
重量
260 KG
320 KG
450 KG
730 KG
内部尺寸 mm
W600 H600 D500
W600 H900 D500
W800 H1000 D600
W1400 H1000 D700
外部尺寸 mm
W950 H1510 D855
W950 H1810 D855
W1290 H1790 D955
W1950 H1790 D1055
配件
隔板
2 PCS
说明书
1 册
选购件
程序温控仪 触摸屏 三色报警灯 计时器等