三清仪器独立双芯双仓 MOL-2DS 百级 ISO Class 5 标准洁净烤箱

产品定位与核心特点

MOL-2DS 是苏州三清仪器专为半导体、显示面板、精密电子等高端制造领域设计的双腔体百级洁净烘箱,采用独特的 "双芯双仓" 独立控制系统,可同时处理两种不同工艺需求的材料,大幅提升生产效率与设备利用率。

核心特点:

双芯双仓独立控制:上下两个腔体各自配备独立的加热、控温、送风系统,可同时运行不同温度、不同工艺的烘烤任务,互不干扰

百级洁净环境:达到 ISO Class 5 (美国联邦标准 Class 100) 洁净等级,每立方米空气中≥0.5μm 颗粒数≤3,520 个,确保精密产品不受污染

高效过滤系统:采用耐高温 H13 级 HEPA 过滤器,过滤效率达 99.997%,持续提供无尘环境

防氧化保护:可选配氮气充入系统,控制箱内氧含量低至 10ppm 以下,特别适合易氧化材料的烘烤

独立双芯双仓技术详解

双仓结构设计

上下两个完全独立的腔体,各自拥有独立的加热元件、风机、过滤器和控制系统

中间采用隔热密封层完全隔离,避免两仓间热量传导和气体交叉污染

每个腔体均配备独立的进气 / 排气口,可单独控制气体流量和换气次数

双芯控制系统

搭载两套独立的PLC 智能控制系统,可分别设置不同的温度曲线和工艺参数

每个腔体可独立编程18 段温度曲线,满足复杂工艺需求

具备PID 自整定功能,确保温度控制精确稳定

配置7 英寸彩色触摸屏,可实时监控各仓温度、运行状态和报警信息

技术优势

生产效率倍增:一次可处理两种不同产品,产能相当于两台单仓烤箱,节省 50% 空间和能耗

工艺灵活性:满足不同客户、不同批次产品的差异化工艺需求,减少设备投资

可靠性提升:一套系统故障不影响另一套正常运行,关键部件采用冗余设计

节能降耗:根据生产需求可单独使用一个腔体,降低能耗

与普通工业烤箱对比

洁净度:普通烤箱无过滤系统,颗粒污染严重,不适合半导体等精密制造

温度控制:MOL-2DS 控温精度达 ±0.5℃,均匀性≤±3℃,普通烤箱通常为 ±2℃和 ±5℃以上

防氧化:MOL-2DS 可选配氮气保护,氧含量可控制在 10ppm 以下,普通烤箱无此功能

密封性:MOL-2DS 采用硅橡胶耐高温密封,气密性好,普通烤箱密封性能差

选型建议

选择 MOL-2DS 的情况:

同时生产多种不同工艺要求的产品

场地空间有限但产能需求高

对洁净度和温度均匀性要求极高

需要防止产品氧化,如半导体、高端电子元件生产

根据工艺需求选择配置:

标准型:室温~250℃,普通百级洁净需求

高温型:室温~300℃/400℃,适用于特殊材料固化

氮气型:增加氮气充入系统,氧含量可控制在 10ppm 以下,适合易氧化材料

总结

三清仪器 MOL-2DS 独立双芯双仓百级 ISO Class 5 标准无尘洁净烤箱是一款专为高端制造业设计的精密烘烤设备,凭借双芯双仓独立控制和百级洁净环境两大核心优势,为半导体、显示面板、光学元件等行业提供了高效、可靠、灵活的烘烤解决方案。

与传统单仓烘箱相比,MOL-2DS 不仅提升了生产效率和空间利用率,更通过独立控制系统实现了多种工艺并行处理,是现代精密制造领域提升产能、降低成本的理想选择。