<洁净烤箱>半导体净化洁净烤箱使用注意及日常保养

 净化洁净烤箱可以通过热风机循环密封性极好的内部气流，通过耐保温高效过滤系统来有效的降低箱体内部的颗粒物数量，根据不同的需求可以达到十级，百级，千级和万级的标准。使用洁净烤箱可以防止芯片基板被颗粒物污染而导致产品品质下降或出现故障。内置K型温度传感器，性能稳定耐高温，使用寿命长，温度智能PID控制，使用可控硅加双固态继电器可自动调节控制，操作方法十分简单。还可以结合产品生产工艺选用触摸屏式多段温度和时间控制仪表。

洁净烤箱一般使用380伏的电源，接线时应注意相位是否错误，三清仪器洁净烤箱配置相位错误报警系统，确保安全。在第一次使用之前，应使用苏打水擦拭烤箱工作室内部，隔板，箱门内测及密封条，预防外带的颗粒物进入，延长净化时间或有损过滤器。日常使用过程中，应确保测试孔处于关闭状态，否则洁净度很难达标或达标时间长。烤箱仪表区装配的压差表，应使用一段时间后注意观察指针位置，一般压差在100-200之间为合适区域。如果压差过小，则表示过滤器可能损坏，应及时更换。如压差过大，则表示过滤器可能被尘埃颗粒物堵塞或风道出现问题，一般后者的可能性极小，重点考虑过滤器的问题。

半导体洁净烘箱的配置丰富，根据不同的产品，不同的工艺需求选择适合自己的配置。三清仪器洁净烤箱包含钣金箱体、加热系统、热风循环系统，温度控制系统、过滤系统、充氮系统、安全保护系统。采用先进的钣金焊接加工技术，结合工业级智能精密控温技术，采用环保节能设计，进口耐高温过滤器，设备密封性好、机械强度高、高洁净度、易操控、高稳定性、安全性，符合国际审美观的标准化整体式结构箱体；具有操作简便、控制系统自动化程度高、系统运行稳定、无故障运行时间长等优点，产品达到国内先进水平。