<无尘洁净烘箱>Class100洁净烘箱颗粒物粉尘测试

洁净烘箱在半导体行业的应用常见于胶水的固化，芯片或基板的干燥处理等工艺。根据不同的标准分为Class100百级洁净度和Class1000千级洁净度，它们对洁净烘箱工作室内部的颗粒物粉尘的数量有着不同的数量要求，百级的要求是1立方米（1立方英尺）不高于3520（100），千级的要求是1立方米（1立方英尺）不高于35200（1000）。用户一般使用手持式激光颗粒物及粉尘连续式测试仪来测试结果。针对无尘洁净烘箱的洁净度的要求，要求洁净烘箱的内胆材质使用净化不锈钢板材且对厚度有一定的要求，确保本身不产尘，结构密封性好，外部颗粒物无法通过箱体进入工作室的内部。

Class100洁净烘箱颗粒物粉尘测试之前应确保烘箱在进入洁净室之前经过净化处理，如使用苏打水或酒精擦拭，包括内胆，隔板，箱门内侧及密封条。使用酒精擦拭的话，要充分晾干，防止加热时引酒精燃烧，一般不推荐使用酒精擦拭。当烘箱擦拭净化后，要先通电工作一段时间，让无尘洁净烘箱的高效过滤器HEPA充分的工作，把工作室内部原有的空气经过净化过滤后再行测试。打开三清仪器洁净烘箱的测试孔，把颗粒物测试仪的探头通过测试孔放入烘箱内部，测试孔用无尘布堵住，尽可能的防止外部环境的空气进入烘箱内部。测试结束后拿出测试仪进行读书即可。参考颗粒物数量的标准即可测出烘箱是否达标。