<不锈钢氮气柜>晶圆CASSETTE氮气柜 氮气保护柜

晶圆通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。切片后的晶圆片十分脆弱，稍不注意可能会被毁坏，由于成本较高需要放置在CASSETTE提篮或晶舟盒内存放，再者为了避免长期暴露在空气中发生氧化及被颗粒物污染，需要使用不锈钢氮气柜来保管存储晶圆片CASSETTE。

三清仪器智能不锈钢材质氮气柜，洁净等级高，自身不产尘，在千级或百级无尘室中，专门用来存储晶圆的CASSETTE，智能供氮控制系统，配合多点供气气路，可大大的节约氮气的消耗且能确保氮气柜内部的氮气分布均匀无死角。控氮机芯采用金属外壳（或SUS304不锈钢）制作。内置进口配件，性能稳定可靠，不受外界干扰。采用自动程控感应系统，当箱内的湿度达到设定值时，系统会自动切断氮气供应；当箱内的湿度超过设定值时，系统会自动打开氮气供应来降低箱体内的湿度和氧含量。多点均匀式供气系统，防止气体过冲给存放的物料带来破坏性的影响及确保箱体内的氮气均匀性，箱内无氮气死角，防止物料受潮氧化，更好的保护存放的物料。