<千级无尘烘箱>无尘烘箱的颗粒数标准 洁净烤箱

半导体晶圆在生产制造的过程中，需要在无尘室的环境下进行，因为细小的颗粒物可能就会引起集成电路的故障和缺陷，而在封装工艺的过程中，需要在无尘洁净烘箱中进行，确保成品无缺陷。包括千级，百级无尘烘箱的颗粒物数量的标准是1立方米或1立方英尺的环境中颗粒物的数量不超过35200（立方米）或1000（立方英尺）则为千级洁净环境，而不超过3520和100的数量，则达到了百级的标准。三清仪器千级无尘烘箱，又称洁净烤箱使用进口的高效过滤器，可以净化洁净烤箱工作室内部的环境，大大降低颗粒物的数量，使用专业颗粒物测试仪测试，能达到千级或者百级的标准。

外箱采用1.2mm厚3A冷轧钢板静电双面喷塑而成。内衬材料为1.2mm~1.5mm厚SUS304×镜面清洁不锈钢板。保温材料为100厚120K高密度硅酸铝纤维保温材料。采用进口温控器，控温精度0.3级，温度分辨率±0.1℃，PID智能计算，自动恒温，超温抑制，传感器断线报警，断电记忆，控温精确，操作简单，可选程序温控功能或液晶屏显示。采用高温高效过滤器，过滤等级H13（99.95%-99.99%@0.3um）。采用进口耐高温超细纤维芯材，连续耐温300℃，不锈钢框架，铝箔夹层，进口高温陶瓷胶封。门框采用玻璃纤维耐高温密封条。设备开机后，启动热风循环系统，热风循环通过高效过滤器h.e.p.a实现箱内自净。