氮气柜是利用高纯度氮气来保护易氧化样品,防止其氧化。如半导体行业使用的Wafer晶圆就需要放置在氮气柜中存储,为了防止晶圆被环境污染,需要在洁净的无尘室内存储和操作,这就需要搭配使用SUS304双镜面不锈钢材质氮气柜。
三清仪器不锈钢氮气柜使用优质SUS304双镜面工艺不锈钢,自身不产尘,洁净等级高。使用进口氮气控制模组,可根据用户自主设置的湿度值来自动打开和切断氮气供应,节约氮气的消耗,减低成本。氮气微循环系统可让氮气柜内氮气分布均匀,减压气流极小的冲击力不会破坏或移动样品。不锈钢氮气柜内置的隔板可自由上下移动,方便放置不同尺寸的样品。也可以按照客户的需求订制,如放置12寸CASSETE,可选择12盒,20盒或其他数量的。
三清仪器不锈钢氮气柜推荐使用99.99%纯度以上的氮气,进气压力推荐设置为0.2 – 0.4MPA。可搭配声光报警系统(可延时),USB温湿度信息传输系统,RS485通信接口。可实现显示误差自我调节功能等。更能为了防止断电,停电氮气会切断不能更好的保护样品,三清仪器不锈钢氮气柜可实现断电后自动打开氮气供应功能,更好的保护样品。
产品容积 | 内径尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板数量 | 开门方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 单开门 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 单开门 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下双开门 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右双开门 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右双开门 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下双开门 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三开门 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四开门 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四开门 / 六开门 |
湿度范围 | 1% - 60% RH 可调节 | 显示精度 | 温度:±1℃ 湿度:±3%RH | |
进气压力 | 0.2 - 0.4 MPa | 节氮模组 | 多点供气系统,SMC节氮模组 |