<氮气柜>三清仪器SUS304不锈钢半导体晶圆Wafer氮气柜

依据GB/T 14264-2009半导体材料术语，GB/T 25915.1-2010洁净室及环境要求，由于晶圆Wafer是极易氧化的，所以它对存储的环境要求是无氧环境，温度不高于25℃。且处于Class 100无尘环境中，洁净等级要求较高，推荐使用三清仪器品牌双镜面不锈钢氮气柜。

三清仪器不锈钢氮气柜采用1.0毫米优质镜面不锈钢或拉丝不锈钢板制作，全柜多处加强设计，无毛刺，承重性能良好。洁净等级高，无颗粒物产生，可用于Class 100级无尘室中使用。为了适应客户的使用便利性，氮气柜的隔板可以按晶圆盒的尺寸订制，更可以设计为格栅插槽式，方便标记物料编号和物料的存取，配合4毫米高透钢化玻璃视窗，氮气柜内的物料存放位置一目了然，可以减少开门寻找物料的时间，间接的节省氮气的消耗。

智能节约型氮气柜控制系统采用SMC电磁阀，无噪音寿命长，切断和打开氮气灵活，不受周边设备辐射的影响。采用多点供气系统，不锈钢层板密布透气孔，保证空气流通，使得氮气在氮气柜内的分布均匀，配合高端水晶流量计，防止气体过冲吹散体积较小的物料。根据不同的物料标准可选择相对湿度或者氧气含量控制氮气的输出和切断。氧化性较强的物料，可加装氮气柜门打开立即强制氮气供应，确保物料安全无虞。可加装更可选配软件记录系统，节省人力查抄温湿度记录值，方便实时查看物料存放的温湿度环境值。