三清仪器无尘室专用洁净真空干燥箱，以 Class 100 级洁净、无油真空、精准控温控真空、全密封防污染为核心，适配半导体、微电子等无尘室精密干燥场景，兼顾低温高效与安全适配。
核心设计与性能亮点
百级洁净，源头防污
内胆用 304/316L 不锈钢满焊满磨，圆弧无死角易清洁，Ra＜0.4μm，杜绝自身产尘；搭配全密封硅橡胶门封圈，泄漏率低，隔绝外界污染。
标配无油干式真空泵（如无油涡旋泵，极限真空 1-2Pa），避免油雾污染洁净室，可充氮降至氧含量 40PPM 以下。
低温高效，保护精密件
真空环境使水分沸点降低，50-80℃即可干燥，避免半导体光刻胶、晶圆等热敏件高温损伤，干燥效率较传统热风提升 30%-50%，无残留。
覆套式电热器加热，硅酸铝保温棉填充，温度均匀性好，适配复杂结构件（如 MEMS 器件）干燥需求。
智能精准，稳定可控
微电脑控温，分辨率 0.1℃，波动≤±0.5℃，PID 自整定 + 多段程序控温，支持 1-9999min 定时、超温报警与参数记忆，减少人为误差。
可选真空度自动控制与氮气流量计，按工艺精准充惰性气体，适配易氧化材料干燥。
安全适配，灵活扩展
真空 / 充氮氛围消除氧化与热爆炸风险，适配易燃易爆物料处理；外箱冷轧钢板静电喷塑，不锈钢活动隔板可灵活调整容积。
真空泵可按抽气速度（2L/S、4L/S 等）与箱体容积选择，支持接入无尘室排气系统，适配不同产能与现场布局。
无尘室应用适配价值
晶圆制造：满足光刻胶涂覆后、清洗后干燥，保障制程洁净度与良率。
半导体封装：芯片、传感器等干燥，降低封装不良率，提升可靠性。
湿敏器件处理：存储前干燥，防止受潮，延长器件寿命。
