三清仪器SKCOL系列无尘洁净高标准氮气烘箱核心优势在于百级洁净 + 精准控温 + 低氧环境,适配半导体、电子、生物等精密烘烤场景,兼具高洁净度、防氧化与强稳定性。以下从关键细节、核心优势、技术参数、适用场景展开分析:
核心细节设计
洁净与密封系统
内胆为 1.2–1.5mm SUS304 镜面不锈钢,满焊满烧打磨,自净不产尘;外箱 1.2mm 冷轧钢板双面喷塑,配玻璃纤维耐高温密封条,杜绝外部颗粒侵入。
标配 H13 耐高温 HEPA 过滤器(进口芯材,耐温 300℃),过滤 99.95%@0.3μm 颗粒,闭环内循环持续自净化,稳定达 Class 100 百级洁净。
氮气与控氧系统
充氮系统含减压调节阀、流量计、氧含量监测(20–500ppm 可选),置换空气实现低氧 / 无氧环境,防高温氧化、辅助降温。
氮气压力建议 3.5kg/cm²(50PSI),流量计全开,配合密封结构减少耗气量。
控温与循环系统
不锈钢覆套式加热管 + 强制热风循环,温度均匀性 ±1–3℃(视型号);PID 智能控温,支持升温斜率与程式化运行。
100mm 高密度硅酸铝纤维保温,节能且外温低,安全防烫。
安全与操作细节
箱门安全开关、超温报警、过流保护、排气口与泄压设计,降低风险。
可调节层板、测试孔、底部防漏设计,适配不同工件与日常维护。
适用场景
半导体:晶圆烘烤、光刻胶预烘 / 坚膜、BCB/PI/CPI 固化、IC 封装干燥。
电子制造:LCD/LED 器件、光学镀膜、传感器的无尘低氧烘烤。
生物与医疗:高洁净要求的样品干燥、无菌烘干。
航空航天:精密组件的高温洁净稳定性测试。
使用要点
开机前用苏打水 + 无纺布擦拭内胆、门框,循环稳定后用粒子计数器验证洁净度。
氮气接入前调至 3.5kg/cm²,流量计全开,关门扣紧后启动安全开关。
定期更换 HEPA 过滤器,监测氧含量与密封状态,确保长期稳定运行。
