三清仪器 8 寸晶圆盒专用氮气柜 SKN-1436F
产品定位与核心功能
SKN-1436F是三清仪器 (SOODKING) 专为8 寸晶圆盒设计的智能氮气保护柜，通过高纯度氮气置换与精密环境控制，为晶圆提供低氧 (≤1000ppm)、低湿 (1-10% RH)、无尘的超净存储环境，防止晶圆氧化、受潮和污染，延长存储周期 3-5 倍。
技术原理与核心优势
三重防护系统
氮气置换系统：
高纯度氮气 (≥99.99%) 持续置换柜内空气，将氧含量降至 ≤1000ppm
微电脑控制氮气流量，柜门开启后5 分钟内恢复设定氧浓度
湿度控制系统：
采用SMC 节氮模组与多点均匀供气技术
可精确控制湿度低至1%RH, 湿度波动控制在 ±2% RH内
相比传统干燥方式，防潮效果提升 5 倍，且不损伤晶圆
洁净防护系统：
内部洁净度可达Class 1000
防静电设计 (电阻值 10⁶~10⁹Ω), 防止静电对晶圆的损伤
柜门采用硅胶密封条，确保优异气密性，防止外部污染侵入
智能控制与节能特性
全自动感应系统：当湿度达标时自动切断氮气，超标时自动补充，比传统氮气柜节约70%氮气消耗
双区数码显示：红色显示温度，绿色显示湿度 / 氧含量，实时监控
数据记录功能(选配)：支持电脑连接，实时显示温湿度曲线并保存历史数据
低能耗：平均功率仅 8W,24 小时运行月耗电约5.8 度
8 寸晶圆存储应用详解
存储能力与布局
层间距可调：层板高度可根据实际需求调整，适应不同类型 8 寸晶圆盒
标准配置：5 层结构，每层可放置2-3 盒标准 8 寸晶圆盒
总容量：一次可存储12-15 盒8 寸晶圆 (约 156-195 片晶圆)
对 8 寸晶圆的关键保护作用
防氧化：彻底隔绝氧气，防止晶圆表面氧化，确保光刻和蚀刻工艺良率
防潮解吸：湿度控制在1-10%RH, 防止晶圆吸潮变形和金属层腐蚀
防尘保护：柜内洁净环境防止微粒污染，减少晶圆缺陷
防静电：特殊防静电涂层避免静电放电 (ESD) 对晶圆电路的击穿损害
使用特点与操作便捷性
一键启动：连接电源和氮气后，开机即可自动运行
两种控制模式：湿度控制或氧含量控制 (可选)
密码保护：可设置管理密码，防止误操作
故障报警：温湿度异常、氮气压力不足等自动声光报警
人性化设计：
高强度钢化玻璃观察窗，无需开门即可观察内部情况
底部配备导静电万向脚轮，便于移动和定位
平面加压把手设计，提升密封性能
总结
SKN-1436F作为专业 8 寸晶圆盒氮气保护柜，通过低氧、低湿、无尘、防静电的全方位保护，解决了 8 寸晶圆存储过程中的氧化、受潮、污染三大核心问题，是半导体和显示面板制造领域的关键基础设施。其智能化控制系统在提供顶级保护的同时，实现了70% 的氮气节约和超低能耗, 大幅降低使用成本。
