三清仪器SKCOL-2 百级无尘烤箱完全适用于 12 寸晶圆 cassette，无需额外改装或配件。
SKCOL-2 核心规格：
工作室尺寸：600(W)×500(D)×600(H) mm
洁净等级：Class 100 (百级无尘)
温度范围：RT+20℃至 300℃
温度均匀性：200℃时 ±3℃，300℃时 ±4℃
加热功率：7.5 kW
内腔材质：304 不锈钢
12 寸晶圆 cassette 标准尺寸：
长 × 宽：约 400×400 mm
高度：约 180-190 mm
容量：通常 13-25 片 12 寸晶圆 (300mm)
功能与应用适配性
半导体工艺要求：
极高洁净度：百级无尘环境 (每立方米 0.5μm 颗粒 < 3520 个)，防止晶圆污染
精确温控：PID 智能控制，温度波动仅 ±0.5℃，确保工艺一致性
均匀热场：热风循环系统，温度均匀性 ±3℃(200℃时)，避免晶圆热应力变形
材质要求：304 不锈钢内腔，不产尘、耐腐蚀，适合长期高温使用
12 寸晶圆 cassette 特性：
专为 300mm 晶圆设计，耐高温 (一般可达 120℃以上)
标准 13 槽 / 25 槽设计，可稳定承载晶圆
材质通常为 PEEK、PC ESD 或金属，满足洁净室要求
使用操作建议
直接放置：将 12 寸 cassette 平稳置于烤箱内腔，确保不倾倒
温度设置：根据工艺需求在 RT+20℃~300℃范围内设定 (通常晶圆烘烤在 60-250℃)
时间控制：依据具体工艺要求设置烘烤时间
特殊需求：可选择充氮功能 (如有)，进一步降低氧含量，保护敏感工艺
优势总结
空间充足：可同时容纳多个 12 寸 cassette，提高生产效率
洁净保障：百级无尘环境确保晶圆在烘烤过程中不受污染，适合先进制程
温度精准：波动小、均匀性高，防止晶圆因热应力变形或工艺不均
兼容性强：标准设计，无需定制配件，可直接使用市场上通用的 12 寸晶圆 cassette
注意事项
使用前确认 cassette 材质耐高温范围，不超过烤箱最高温度 (300℃)
确保 cassette 放置稳固，避免烘烤过程中倾倒损坏晶圆
定期清洁烤箱内腔和过滤器，维持百级洁净度
结论：SKCOL-2 百级无尘烤箱凭借其宽敞内腔 (600×500×600mm)、百级洁净环境和精准温控系统，完全适配标准 12 寸晶圆 cassette，是半导体、显示面板等行业晶圆烘烤工艺的理想选择。
