三清仪器 SKN-1436F 晶圆专用氮气柜：半导体存储的 "分子级防护舱"
产品定位与核心价值
SKN-1436F 是三清仪器 (SOODKING) 专为半导体微电子行业设计的1436L 大容量晶圆专用氮气柜，通过提供超低氧 (≤100ppm)、超低湿 (1-60% RH) 的惰性保护环境，防止晶圆氧化、吸潮和污染，确保高端芯片制造工艺的良率与可靠性。作为半导体生产线上的关键存储设备，它能有效延长晶圆存储周期，减少昂贵晶圆报废风险，是先进制程中不可或缺的 "材料安全舱"。
核心功能与技术特点
智能氮气管理系统
全自动节氮模式：内置程控感应系统，仅在湿度超标时自动充氮，达设定值后立即停止，比传统直充方式节约 80% 氮气
多点均匀供气：SMC 高精度节氮模组 + 多点分散式进气，确保柜内无氮气死角，氧气分布均匀
智能流量调节：支持连续 / 间歇 / 按需三种充氮模式，适应不同存储需求
氮气幕帘技术：开门瞬间启动高速氮气喷射，防止外部空气侵入，关门后自动切换至低流量维持模式
精密环境控制系统
湿度精确控制：采用进口高精度湿度传感器，控制精度达 ±3% RH
氧含量监控：可选配高精度氧传感器，实时显示并控制氧含量在 ≤100ppm(高端工艺可选≤20ppm)
温度显示：实时显示柜内温度 (精度 ±1℃)，虽不控温但可监控环境稳定性
数据记录：支持温湿度 / 氧含量历史数据存储与导出，满足半导体行业追溯性要求
安全与可靠性设计
多重密封：门框采用双层硅胶密封，确保气密性，减少氮气泄漏
防静电处理：柜体表面采用永久性防静电喷塑 (电阻 10⁶~10⁹Ω)，防止静电对晶圆损伤
开门安全联锁：柜门开启时自动暂停充氮，防止高浓度氮气溢出
报警系统：湿度 / 氧含量超标、门未关紧等异常情况声光报警，确保存储安全
断电保护：突发断电时维持柜内惰性环境，来电自动恢复工作
为什么选择 SKN-1436F?
存储密度与效率优势
1436L 超大容量，一次可存12 盒 12 寸晶圆(约 156 片)，减少存储设备数量
层板高度可调，兼容不同尺寸晶圆载具(8 寸 / 12 寸 Cassette)
六开门设计，分区存取，提高操作便利性和效率
成本效益显著
智能节氮系统使一瓶 40L 氮气可使用4-5 天(每天开门 3-5 次)，大幅降低运行成本
高精度环境控制，降低晶圆报废率，保护昂贵的半导体材料
设备使用寿命长，维护简单，年维护成本 < 5%设备原值
专业定制与服务
可选 SUS304 不锈钢材质，洁净度更高，适合无尘室直接使用
提供 SECS/GEM 接口，无缝集成到半导体工厂自动化管理系统
专业工程师团队提供安装调试、培训及 24 小时技术支持
整机提供二年质保，关键部件 (如传感器) 质保伍年
总结
SKN-1436F 晶圆专用氮气柜是半导体微电子行业的理想存储解决方案，通过提供稳定的低氧低湿环境，有效保护晶圆免受氧化和污染威胁，是高端芯片制造过程中不可或缺的关键设备。其智能化控制系统和出色的节氮性能，在保障存储安全的同时，显著降低了运行成本，为半导体企业提供了卓越的投资回报。
