双仓百级无尘洁净固化干燥箱 MOL-2DS
产品概述
MOL-2DS是一款专为半导体、显示面板等高端电子行业设计的双仓独立控温百级无尘洁净固化干燥箱。采用双箱体结构,每个仓室均可独立控制温度和气氛,提供无尘、无氧的高精度固化和干燥环境,适用于对洁净度和工艺稳定性要求极高的生产场景。
产品特点
1. 双仓独立控制系统
两个仓室可独立设置温度、时间和气氛参数,提高设备利用率
单仓内部分三层设计,可同时处理不同工艺需求的产品
控制箱位于机台右侧,操作便捷,便于监控
2. 百级无尘洁净环境
采用进口 H.E.P.A 过滤器,过滤效率 99.997%,确保 Class 100 洁净度
空气封闭自循环系统,经耐高温过滤器反复过滤
全周氩焊密封 + 耐高温硅胶迫紧,防止外部污染侵入
内部镜面不锈钢材质,减少微粒产生,便于清洁
3. 高精度温度控制
六点式温度检测系统,实时监控箱内温度分布
PID 智能控制系统,温度波动控制在 ±0.5℃内
升温迅速,30 分钟内可达 250℃ (空炉)
温度均匀度高,确保产品处理一致性
4. 灵活气氛控制
可选配氮气 / 惰性气体入口,精确控制箱内氧含量 (≤20ppm)
配备 N₂流量计 (5~50L/M×2),精确控制进气量
可设置间歇性排气,避免氮气浪费,降低运行成本
微氧含量测试仪实时监控,确保工艺稳定性
5. 安全保障系统
多重安全保护:漏电保护、超温报警、电机过热保护、独立温度过升防止装置
电磁式门扣附断电防开装置,确保操作安全
门面安全开关,开门即停止加热
设备设定温度 250℃时,门板外侧温度≤室温 + 15℃,防止烫伤
总结
MOL-2DS 双仓百级无尘洁净固化干燥箱是半导体和高端电子制造领域的关键设备,提供无尘、无氧、高精度控温的工艺环境,确保产品质量和生产效率。双仓独立设计使其能同时满足多种工艺需求,是现代电子制造业提升产能和良率的理想选择。
