以下是百级烘箱的温度均匀性和颗粒物的验证方法:
温度均匀性验证方法
准备设备:准备不少于3个温度传感器,如热电偶或红外线温度计。
布置传感器:将传感器分别放置在烘箱的上、中、下三个位置,确保传感器与烘箱内壁的距离适当,避免受到直接加热元件的影响。
设定温度:将烘箱温度设定为所需验证的温度,如200℃或300℃。
记录数据:启动烘箱,待温度稳定后,记录不同位置的温度数据。通常需要在设定温度下持续记录一段时间(如30分钟),每隔一定时间(如每2分钟)记录一次温度。
计算均匀性:计算各测量点的温度差异,温度均匀性一般要求在200℃时为±3℃,在300℃时为±4℃。也可以通过计算温度均匀度,即在稳定状态下,30分钟内每次测量中实测最高温度与最低温度之差的算术平均值。
颗粒物验证方法
测量设备:使用手持式激光颗粒物及粉尘连续式测试仪,或符合标准的离散粒子计数器(DPC),通过光散射原理检测空气中大于或等于规定粒径的悬浮粒子浓度。
准备烘箱:在测量前,确保烘箱进入洁净室之前经过净化处理,例如使用苏打水或酒精擦拭内胆、隔板、箱门内侧及密封条,并充分晾干。然后通电工作一段时间,让高效过滤器(HEPA)充分工作,将工作室内部原有的空气经过净化过滤。
测量过程:打开烘箱的测试孔,将颗粒物测试仪的探头通过测试孔放入烘箱内部,测试孔用无尘布堵住,防止外部环境的空气进入。测试结束后读取数据。
判断标准:百级无尘烘箱要求每立方米(1立方英尺)内不高于3520个(100个)颗粒物。具体标准为:在每立方英尺内,0.5微米的灰尘颗粒不超过100个,0.2微米灰尘颗粒不超过750个,0.3微米不超过300个,5.0微米不超过29个。
通过上述方法,可以有效验证百级烘箱的温度均匀性和颗粒物控制情况,确保其在生产过程中始终保持高洁净度和稳定的温度环境。