普通氮气柜和晶圆FAB工厂氮气柜的主要区别如下:
功能与控制精度
普通氮气柜:主要用于一般防潮、防氧化需求,通过持续充入氮气置换柜内空气,达到防潮、防氧化的效果。
晶圆FAB工厂氮气柜:专为半导体晶圆存储设计,具备更高的湿度控制精度(1%-60% RH),能够快速将湿度降至设定值,并通过智能控制系统自动充氮和停止供气,显著节约氮气。
技术参数
普通氮气柜:通常配备流量计手动调节氮气流量,湿度控制范围较宽(一般为10%-60% RH),精度相对较低。
晶圆FAB工厂氮气柜:配备微电脑智能控制系统,湿度控制精度可达±3% RH,温度显示范围为-9℃至99℃,湿度和温度独立显示。
材质与结构
普通氮气柜:材质通常为不锈钢或烤漆钢板,注重密封性和承重性。
晶圆FAB工厂氮气柜:采用1.2mm优质钢板,加强结构设计,内外表面喷塑处理,防静电型号的静电阻值在10^6^-10^9^欧姆之间,符合ESD行业标准。
节能与成本
普通氮气柜:依靠流量计控制氮气流量,氮气消耗相对较高。
晶圆FAB工厂氮气柜:通过智能控制系统,相比普通氮气柜可节约80%以上的氮气成本。
应用场景
普通氮气柜:广泛应用于电子元件、实验室耗材、文物保存等领域,主要满足一般的防潮、防氧化需求。
晶圆FAB工厂氮气柜:专用于半导体晶圆存储,确保晶圆在超低湿、无氧环境下安全存储,防止氧化和受潮。
附加功能
普通氮气柜:通常配备基本的流量计和密封门。
晶圆FAB工厂氮气柜:具备高承重隔板、观察窗、平面加压锁、警报装置等附加功能,部分型号还可选配高承重支撑和防潮箱除湿装置。
综上所述,晶圆FAB工厂氮气柜在功能、精度、节能和附加功能方面都优于普通氮气柜,更适合对存储环境要求极高的半导体晶圆存储场景。