在半导体FAB工厂中，氮气柜的节能设计和节约氮气功能至关重要，以下是一些关键特点和技术参数，以帮助您选择合适的节约型氮气柜：
湿度控制与氮气节约功能
湿度控制范围：氮气柜应能将湿度精确控制在1%-60% RH范围内。
智能控制系统：配备微电脑智能控制系统，当湿度达到设定值时，系统会自动切断氮气供应；当湿度超过设定值时，系统会自动恢复供气。相比传统直充氮气机型，这种设计可节约70%的氮气消耗。
多点供气系统
氮气通过多个小孔均匀分布到柜内，避免单点供气产生的死角，确保氮气分布均匀。
节能设计
低能耗：部分氮气柜采用低能耗设计，功率仅为8W。
智能休眠模式：内置智能休眠技术，进一步降低能耗。
其他技术参数
氮气纯度：氮气纯度需达到99.99%以上，以防止晶圆氧化。
温度控制：虽然部分氮气柜不直接调节温度，但建议环境温度保持在22±2℃，相对湿度40%-60%。
洁净度：柜内洁净度应达到ISO Class 5或更高。
密封性能：柜体密封性要高，确保外界空气和污染物无法进入。
材质与结构
柜体材质：优先选择304不锈钢材质，适合在百级或千级无尘室内使用。
承重与结构：采用加强结构设计，承重性能好，内部无氮气死角。
安全与监控功能
安全功能：具备氮气泄漏报警、超压保护、紧急停机等功能。
联网监控：部分氮气柜支持联网监控，通过以太网接口实时读取温湿度及含氧量数据。
定制化与扩展性
定制化服务：可根据存储物品的尺寸和数量，选择可定制隔板设计和尺寸的氮气柜。
系统升级：部分型号支持未来升级，如节氮除湿模组、自制氮气装置等。
其他节能设计
快速降湿功能：部分氮气柜具备快速降湿功能，能在数分钟内将湿度降到设定值，特别适合频繁开关门的作业场所。
防静电设计：防静电机型表面处理采用防静电烤漆，静电阻值在10^6^-10^9^欧姆之间。
通过以上功能和技术参数，半导体FAB工厂可以显著降低氮气消耗，同时确保存储环境的稳定性和安全性。
| 产品容积 | 内径尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板数量 | 开门方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 单开门 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 单开门 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下双开门 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右双开门 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右双开门 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下双开门 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三开门 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四开门 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四开门 / 六开门 |
| 湿度范围 | 1% - 60% RH 可调节 | 显示精度 | 温度：±1℃ 湿度：±3%RH | |
| 进气压力 | 0.2 - 0.4 MPa | 节氮模组 | 多点供气系统，SMC节氮模组 | |
