<氮气柜>晶圆在氮气柜内部是如何被保护的

氮气柜在保护晶圆方面具有重要作用，主要体现在以下几个方面：

提供惰性气氛：

防止氧化：氮气是一种惰性气体，化学性质稳定，不易与其他物质发生反应。在氮气柜中，高纯度的氮气能够有效隔绝晶圆与外界空气的接触，减少晶圆表面的氧化。例如，氮气柜内的氮气纯度通常要求达到99.999%以上，以确保晶圆芯片在存储过程中不会受到氧化和污染。

减少化学反应：氮气柜内充满纯净的氮气，减少了氧气和其他有害气体的存在，从而防止晶圆与其他材料发生化学反应，保护晶圆的完整性。

湿度控制：氮气柜内的湿度通常能够控制在10%RH以下。低湿度环境能够有效降低晶圆表面的水分含量，防止水分对晶圆的氧化和腐蚀，保持晶圆的稳定性和可靠性。

保持洁净环境：

无尘环境：氮气柜能够提供一个无尘的环境，防止空气中的微粒和污染物对晶圆造成污染。这对于保证晶圆的纯净度和质量至关重要。高效过滤：氮气柜通常配备高效过滤器，以确保柜内空气的洁净度达到晶圆存储的要求。

防静电措施：

防静电保护：晶圆芯片对静电敏感，氮气柜采取了一系列防静电措施，如设立静电地板、接地装置和静电屏蔽等，以防止静电对晶圆芯片造成损害。

通过这些措施，氮气柜能够有效地保护晶圆免受氧化、潮气、污染和静电等不利因素的影响，从而确保晶圆的质量和可靠性。