氮气柜通过外置氮气气源充入氮气柜内部,置换出原有的空气,可以迅速的降低氮气柜内部的相对湿度值及氧含量。可以为Wafer晶圆提供一个良好的存储环境,确保物料存储的安全。氮气柜的氮气气源一般有两种实际的应用场景,一种是连接外置的氮气气瓶,另外一种是连接至工厂提前布置好的氮气管道上。不管是哪种方式,我们都需要确保氮气的纯度和氮气的压力,前者纯度过低的话,可能达不到预期的要求,后者压力过大的话,会造成氮气的极大浪费。

对于氮气的纯度,我们推荐的是至少99.99%纯度以上,如果要求不高或者是其他行业,也可以使用99.9%纯度的氮气。至于氮气柜的氮气进气压力,三清仪器智能节氮型氮气柜推荐进气压力调节为0.2MPA左右较为合适。因为氮气柜只是一个密封性较好的柜体,相对于压力容器来说,他的承压性能较差。当氮气充入箱体内时,箱体内部会存在一个微正压的状态,此时箱内原有的空气开始置换出去。如果氮气进气压力过大的话,箱内正压就会增大,此时空气被置换的同时,氮气也会被置换出去,这样就会造成氮气消耗的浪费,所以不推荐氮气柜进气压力过大。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜