<洁净烤箱>晶圆封装Class100百级无尘洁净烤箱

Class100百级无尘洁净烤箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking)，曝光、显影后的坚膜硬烘（Hard baking)等工艺，适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。配置氮气接口，使用前可向柜内充入氮气。三清仪器洁净烤箱在普通的环境下，能够确保烤箱内部的洁净等级达到Class 100。

洁净烤箱的温控系统采用智能控制系统，可预编120个程式，每个程式最大可编99段，共1200段，历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)。使用可控硅加双SSR输出，温度可控性能更好。采用平面水平由左向右送风后经美国进口H.E.P.A (特殊风道设计)，过滤效率99.99%，内部的洁净等级达到Class 100。