8英寸Cassete氮气存储保护柜,12英寸Cassete氮气存储保护柜使用优质双镜面不锈钢制作,可选201或者304规格不锈钢板材。配置节氮装置,智能控制氮气的供应与切断。可选更多功能如湿度超标声光报警,柜门未关好报警,湿度误差校准等。氮气柜尺寸可根据晶圆盒的尺寸和存储的数量来订制。晶圆盒的氮气柜湿度控制范围在1% - 60%RH区间可任意调节,当湿度达到用户设定值时会自动切断氮气供应。开启箱门之后,湿度上升超过用户设定值,氮气会自动打开供应,快速除湿,将湿度稳定在预设值内。需要注意的是,正常设置的氮气柜,断电后电磁阀默认处于关闭状态,即断电后氮气处于关闭状态。此设置可能不适合部分场景应用,针对此类情况,三清仪器氮气柜可修改为断电后,氮气默认处于一直供气的状态,以此来保护物料的安全。缺点是氮气的消耗量会增加。
产品容积 | 内径尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板数量 | 开门方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 单开门 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 单开门 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下双开门 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右双开门 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右双开门 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下双开门 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三开门 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四开门 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四开门 / 六开门 |
湿度范围 | 1% - 60% RH 可调节 | 显示精度 | 温度:±1℃ 湿度:±3%RH | |
进气压力 | 0.2 - 0.4 MPa | 节氮模组 | 多点供气系统,SMC节氮模组 |