8英寸Cassete氮气存储保护柜,12英寸Cassete氮气存储保护柜使用优质双镜面不锈钢制作,可选201或者304规格不锈钢板材。配置节氮装置,智能控制氮气的供应与切断。可选更多功能如湿度超标声光报警,柜门未关好报警,湿度误差校准等。氮气柜尺寸可根据晶圆盒的尺寸和存储的数量来订制。晶圆盒的氮气柜湿度控制范围在1% - 60%RH区间可任意调节,当湿度达到用户设定值时会自动切断氮气供应。开启箱门之后,湿度上升超过用户设定值,氮气会自动打开供应,快速除湿,将湿度稳定在预设值内。需要注意的是,正常设置的氮气柜,断电后电磁阀默认处于关闭状态,即断电后氮气处于关闭状态。此设置可能不适合部分场景应用,针对此类情况,三清仪器氮气柜可修改为断电后,氮气默认处于一直供气的状态,以此来保护物料的安全。缺点是氮气的消耗量会增加。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组