目前半导体企业的使用的大量氮气柜都是氮气直充型,通过流量计调节氮气进气量大小,24小时不间断的供应氮气。一般氮气流量设置为2L/M(升每分钟),日积月累下来氮气的消耗量过大,成本过高。且2L/M的流量,在打开氮气柜柜门后,恢复到目的湿度值或氧含量值时间较长,为了更好的保护Wafer晶圆片,需要进行技术改造。三清仪器智能节约型氮气柜控制系统,使用进口的SMC电磁阀 ,配温湿度或氧含量的传感器采集数据,然后反馈至微电脑控制系统来控制电磁阀的打开与切断从而达到可以根据湿度或氧含量的目标值来控制氮气的切断与供应,达到节约氮气消耗的目的,且数据可视化,操作方便简单。目前在许多12寸晶圆厂得到广泛的应用。

独立的镜面不锈钢工艺制成的控制盒,集成控氮系统和数显功能,可直接放置在氮气柜的顶部或其他指定位置。按键操作,用户自行设定湿度或氧含量数据,报警数据等,达到设定值后即可自动切断氮气工艺来达到节约氮气消耗的目的。氮气进气管路可做多路气管,分散放置,确保氮气柜柜内的氮气分布均匀。传感器使用引线传入氮气柜内部,位置可自由放置。配置高端的流量计且流量可调,使用该系统后,氮气的消耗量和氮气流量的大小无直接联系,和用户的设定值等环境因素相关。该系统具有误差调节功能,485或232通讯功能,超标报警等实用的功能,方便用户选择。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜