三清仪器节约型氮气柜是利用相对湿度值来控制氮气的供应与切断，当传感器采集的湿度数据超过用户设置值时，氮气柜的控制系统会自动打开氮气供应，当传感器采集的湿度值下降到用户设定值后，氮气柜的控制系统会自动停止氮气释放。目前半导体行业使用的传统氮气柜设备都比较老旧，没有湿度监测及氮气的控制功能，处于24小时不停的供应氮气，造成氮气的浪费及无效的干燥。使用三清仪器智能节约型氮气柜，用户可以在数显控制面板上控制及显示湿度值或氧含量值，达到有效的控制和节省庞大的氮气成本。
除湿机芯采用金属外壳制作，表面静电喷塑或采用不锈钢材质制作。内置进口配件，性能稳定可靠，不受外界干扰。多点均匀式供气系统，防止气体过冲给存放的物料带来破坏性的影响及确保箱体内的氮气均匀性，箱内无氮气死角，防止物料受潮氧化，更好的保护存放的物料。高强度载重移动式层板，可根据存放的物料随意调节每层层板之间的高度，存放物料更方便，空间利用率更高
| 产品容积 | 内径尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板数量 | 开门方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 单开门 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 单开门 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下双开门 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右双开门 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右双开门 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下双开门 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三开门 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四开门 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四开门 / 六开门 |
| 湿度范围 | 1% - 60% RH 可调节 | 显示精度 | 温度：±1℃ 湿度：±3%RH | |
| 进气压力 | 0.2 - 0.4 MPa | 节氮模组 | 多点供气系统，SMC节氮模组 | |
