光电行业,太阳能行业,半导体微电子行业经常使用的集成电路制造的硅抛光片与外廷片,都会使用到硅材料。因为硅材料的易氧化特性,表面干净的硅暴露在空气中一段时间就会被氧化,说明常温下硅是会与氧气发生反应的。检验方法是:干净的硅表面是疏水的,而被氧化成二氧化硅后表面会变得亲水。为了防止这一现象的发生,我们需要将其防止在氮气保护柜内长期存放。

三清仪器的氮气柜使用金属外壳制造,表面静电喷塑。内置进口配件,性能稳定可靠。采用自动程控感应系统,当箱内的湿度达到设定值时,系统会自动切断氮气供应;当箱内的湿度超过设定值时,系统会自动打开氮气供应来降低箱体内的湿度和氧含量。多点均匀式供气系统,防止气体过冲给存放的物料带来破坏性的影响及确保箱体内的氮气均匀性,防止受潮氧化,更好的保护存放的物料。高强度载重移动式层板,可根据存放的物料随意调节每层层板之间的高度,存放物料更方便,空间利用率更高。且符合符合J-STD-033B规范对湿敏元件(MSD)储存的要求,还可以选择SUS304不锈钢材质制作。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜