<氮气柜>微电子半导体行业使用的氮气柜和氮气干燥箱

微电子半导体行业使用的Wafer晶圆属于一种易氧化的物质，在使用或存储的过程中都需要处于无氧干燥的环境下进行。三清仪器智能节约型氮气柜专为晶圆存储而设计，镜面不锈钢材质，适用于洁净室。三清仪器氮气柜干燥箱工作室经过满焊打磨，涂抹高温胶，氮气消耗量好。

氮气柜是常温环境下，把氮气冲入柜体内（氮气纯度推荐99.99%以上），降低柜内的相对湿度和氧含量，给Wafer晶圆提供一个良好的存储环境。内置SMC电磁阀，性能稳定可靠，寿命长。多点供气系统，，使得氮气分布更加均匀，保护性更好。根据用户的设定值，氮气柜自动打开和切断氮气供应，节约成本。一般情况下用户的Wafer都是使用Cassette周转移动，按照12寸13槽的晶圆Wafer Cassette的尺寸来计算，长宽约为400mm，高度约为190mm。以三清仪器品牌智能氮气柜1436升6门为例，柜门开口尺寸为545mm，门内高度500mm，放置一层隔板，每层高度约为240mm，即一层隔板可以放置2盒Cassette，一台1436升智能氮气柜共计放入12盒晶圆花篮。

氮气干燥箱是可以提供温度环境的作业设备，在高温环境下冲入氮气，确保晶圆高温环境下不被氧化。出风口和进风口均被可调节风口封闭，确保氮气不外泄。根据用户的实际需求，还可以选择Class 1000及Class 100的无尘洁净烘箱。