<氮气柜>常见的氮气柜种类分析及晶圆Wafer专用氮气柜

氮气柜是一种密封性良好的柜体，通过充入高纯度氮气来降低柜内的氧含量，使得柜体内部处于一个惰性气体的氛围，用来保存各类活性度较高的物料。氮气柜在半导体行业应用的非常广泛，主要用来存储Wafer晶圆，防止其暴露在空气中发生氧化。

常见的氮气柜，按材质分类约分为冷轧板喷塑材质，不锈钢材质及透明亚克力板材质。按氮气控制方式约分为氮气直冲型，湿度控制型，压力控制型。材质上冷轧板静电喷塑和不锈钢材质均为金属材质，相对来说不锈钢的洁净等级更高，适用于百级或千级无尘室内使用。透明亚克力板材质使用金属骨架固定或板材焊接而成，一般适应于实验室或小型物料的存放。为了更好的搭配空间的布局，金属材质的氮气柜市场占有率要远远高于亚克力板材的氮气柜的。无论从耐用性，承重性及后期维护的便利性金属材质的氮气柜要优于透明亚克力板材质的氮气柜。

氮气控制方式，最原始的氮气直冲型，氮气消耗量最大且无数据直观显示，近年逐步被替换成湿度或氧含量控制氮气方式。当下市场最普及的湿度控制氮气方式不仅可以节约氮气，相对湿度显示，直观明了。可以根据的要求设置湿度值或氧含量，满足物料存放的环境值。相对于压力控制型氮气柜，湿度/氧含量控制型氮气柜，更加直观，简单且比压力控制氮气柜更加节约氮气柜。