<氮气柜>晶圆Wafer的Cassette及晶舟盒在氮气柜中的数量

晶圆Wafer作为微电子集成电路里面的核心材料，是经过非常复杂的前段工序而得到的，所以晶圆片的生产成本非常高。它在周转过程中很容易出现被碰伤、刮花、缺角等问题，所以对Wafer的保护也是每一家半导体企业不能忽视的。晶圆载具Cassette用于对晶圆片的隔离保护，防止产品在周转存储过程中出现的一系列问题。晶圆在储存的时候也是直接在Cassette中放入氮气柜中的，为了提高氮气柜的空间使用率，三清仪器提供最适应的氮气柜型号。

我们按照12寸13槽的晶圆Wafer Cassette的尺寸来计算，长宽约为400mm，高度约为190mm。以三清仪器品牌智能氮气柜1436升6门为例，柜门开口尺寸为545mm，门内高度500mm，放置一层隔板，每层高度约为240mm，即一层隔板可以放置2盒Cassette，一台1436升智能氮气柜共计放入12盒晶圆花篮。一台870升三清仪器氮气柜，同样可以放入12盒，空间利用率比1436升氮气柜的利用率要高。同时我们考虑氮气柜内的氮气流通和方便存放及取物所需要的空间，三清仪器推荐选择1436升全自动智能氮气柜来存放晶圆Cassette和晶舟盒。也可以根据客户的实际需求来定制尺寸和功能。