晶圆Wafer作为微电子集成电路里面的核心材料,是经过非常复杂的前段工序而得到的,所以晶圆片的生产成本非常高。它在周转过程中很容易出现被碰伤、刮花、缺角等问题,所以对Wafer的保护也是每一家半导体企业不能忽视的。晶圆载具Cassette用于对晶圆片的隔离保护,防止产品在周转存储过程中出现的一系列问题。晶圆在储存的时候也是直接在Cassette中放入氮气柜中的,为了提高氮气柜的空间使用率,三清仪器提供最适应的氮气柜型号。

我们按照12寸13槽的晶圆Wafer Cassette的尺寸来计算,长宽约为400mm,高度约为190mm。以三清仪器品牌智能氮气柜1436升6门为例,柜门开口尺寸为545mm,门内高度500mm,放置一层隔板,每层高度约为240mm,即一层隔板可以放置2盒Cassette,一台1436升智能氮气柜共计放入12盒晶圆花篮。一台870升三清仪器氮气柜,同样可以放入12盒,空间利用率比1436升氮气柜的利用率要高。同时我们考虑氮气柜内的氮气流通和方便存放及取物所需要的空间,三清仪器推荐选择1436升全自动智能氮气柜来存放晶圆Cassette和晶舟盒。也可以根据客户的实际需求来定制尺寸和功能。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜