<氮气柜>集成电路半导体材料晶圆wafer氮气防氧化柜

晶元（Wafer），也称磊晶、晶圆、蓝宝石衬底、外延片。是生产集成电路所用的载体，多用于显示照明及LED行业。单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元。晶元是最常用的半导体材料。Wafer的制造过程相当复杂和严密，但却是所有电子工业的基础。晶圆制造总的工艺流程可概分为晶圆处理工序（Wafer Fabrication）、晶圆针测工序（Wafer Probe）、构装工序（Packaging）、测试工序（Initial Test and Final Test）等几个步骤。晶圆的成本很高，但是在普通环境下存放却很容易氧化，造成很大的经济损失和不良品，需要我们使用氮气防氧化保护柜来存放。

Wafer晶圆按照不同的包装，存放所需要的湿度值也不尽相同。带包装的或者真空包装的需要存放在湿度为25%RH±3%RH的环境中，裸装的需要存放在5%RH以下的湿度环境中。温度值为25℃±5℃，洁净等级为Class100的无尘环境中。三清仪器品牌氮气柜，使用原装进口配件，多点供气系统，多孔式活动层板，四周留有气体对流间距，使得氮气防氧化柜内氮气分布均匀，保护更全面。当晶圆存放在氮气柜内时，应做好相应的标签，通过高清钢化玻璃视窗，晶圆的存放情况，存放位置一目了然。还要做好存放和取出晶圆的时间及对于的湿度值或氧含量值，全面了解Wafer在氮气柜内的存放时长和湿度情况。可加装USB或232通信协议，单机版软件或者TCP/IP协议多台氮气柜组网软件来实时查看氮气柜的温湿度记录值。湿度超标报警功能，当湿度不达标或人为忘记关闭氮气柜柜门时，通过声光报警来提醒。