随着半导体微电子的全速发展,微电子芯片的防氧化防护对成品芯片的品质起着关键性的作用。氮气柜可以利用外接高纯度氮气,充入柜内,降低柜内的氧含量且可控制。全天候保护微电子芯片的品质安全。

氮气柜需要外接高纯度氮气才可以使用,氮气柜本身无法产生氮气。市场上部分氮气柜自带氮气发生器,一般氮气纯度无法得到保证,氧含量和湿度无法完美的控制,推荐使用外购的高纯度氮气,推荐使用99.99%纯度以上的氮气。纯度低的氮气所包含的杂质较多,长时间使用会损坏氮气柜控制系统内置的进口电磁阀。智能氮气柜根据相对湿度或者氧含量自动判断氮气是否需要供应,氮气经过流量计,达到氮气控制系统,再分散均匀的进入氮气柜内。防止氮气过冲或者损坏流量计,推荐使用0.2Mpa-0.4Mpa的进气压力。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜