随着半导体微电子的全速发展，微电子芯片的防氧化防护对成品芯片的品质起着关键性的作用。氮气柜可以利用外接高纯度氮气，充入柜内，降低柜内的氧含量且可控制。全天候保护微电子芯片的品质安全。
氮气柜需要外接高纯度氮气才可以使用，氮气柜本身无法产生氮气。市场上部分氮气柜自带氮气发生器，一般氮气纯度无法得到保证，氧含量和湿度无法完美的控制，推荐使用外购的高纯度氮气，推荐使用99.99%纯度以上的氮气。纯度低的氮气所包含的杂质较多，长时间使用会损坏氮气柜控制系统内置的进口电磁阀。智能氮气柜根据相对湿度或者氧含量自动判断氮气是否需要供应，氮气经过流量计，达到氮气控制系统，再分散均匀的进入氮气柜内。防止氮气过冲或者损坏流量计，推荐使用0.2Mpa-0.4Mpa的进气压力。
| 产品容积 | 内径尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板数量 | 开门方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 单开门 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 单开门 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下双开门 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右双开门 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右双开门 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下双开门 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三开门 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四开门 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四开门 / 六开门 |
| 湿度范围 | 1% - 60% RH 可调节 | 显示精度 | 温度：±1℃ 湿度：±3%RH | |
| 进气压力 | 0.2 - 0.4 MPa | 节氮模组 | 多点供气系统，SMC节氮模组 | |
